Pressure Controlled Polishing Platen
WO2012094102
Art A2
12. Juli 2012
Anmelder: Applied Materials, Inc., Chen, Hung Chih 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2012094102
- Aktenzeichen
- EP11854714
- Anmeldetag
- 12. Dezember 2011
- Veröffentlichung
- 12. Juli 2012
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
Chen, Hung Chih - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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