Method for improving uniformity of chemical mechanical planarization process for metal plug in post-gate process

WO2012094782 Art A1 19. Juli 2012

Anmelder: Institute Of Microelectronics, Chinese Academy Of Sciences 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012094782
Aktenzeichen: EP11855496
Anmeldetag: 20. April 2011
Veröffentlichung: 19. Juli 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/768H01L21/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Institute Of Microelectronics, Chinese Academy Of Sciences
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences

Chinesisches Forschungsinstitut der Chinese Academy of Sciences mit Schwerpunkt auf Mikroelektronik und Halbleitertechnologie. Patente betreffen Chipdesign und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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