Plasma apparatus

WO2012095961 Art A1 19. Juli 2012

Anmelder: Nissin Electric Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012095961
Aktenzeichen
EP11855517
Anmeldetag
12. Januar 2011
Veröffentlichung
19. Juli 2012
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Nissin Electric Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissin Electric

Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.

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