Thin film forming device for solar cell and thin film forming method

WO2012096370 Art A1 19. Juli 2012

Anmelder: University of Yamanashi, Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012096370
Aktenzeichen: EP12734482
Anmeldetag: 13. Januar 2012
Veröffentlichung: 19. Juli 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/368H01L31/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: University of Yamanashi
Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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