Technique and apparatus for monitoring ion mass, energy, and angle in processing systems

WO2012096959 Art A1 19. Juli 2012

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012096959
Aktenzeichen: EP12703629
Anmeldetag: 10. Januar 2012
Veröffentlichung: 19. Juli 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01J49/40H01J49/04H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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