Method for measurement of temperature of melt, radiation thermometer, and process for production of silicon single crystals

WO2012098824 Art A1 26. Juli 2012

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012098824
Aktenzeichen
EP12737019
Anmeldetag
5. Januar 2012
Veröffentlichung
26. Juli 2012
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/06C30B15/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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