Bonded substrate and method for producing same
WO2012098825
Art A1
26. Juli 2012
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2012098825
- Aktenzeichen
- EP12736985
- Anmeldetag
- 5. Januar 2012
- Veröffentlichung
- 26. Juli 2012
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/02G01L9/00H01L21/336H01L27/12H01L29/786H01L29/84
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Vertreten von
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