Method for manufacturing a sensor chip

WO2012100362 Art A1 2. August 2012

Anmelder: Sensirion AG 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012100362
Aktenzeichen: EP12702169
Anmeldetag: 26. Januar 2012
Veröffentlichung: 2. August 2012
Rechtsraum: WO
IPC: B81B7/00H01L21/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sensirion AG
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 Sensirion

Sensirion ist ein Schweizer Hersteller von Umwelt- und Durchflusssensoren mit Sitz in Stäfa. Das Patentportfolio ist stark auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik fokussiert, ergänzt durch Halbleiterbauelemente und Nachrichtentechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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