Wafer Transport Robot

WO2012101947 Art A1 2. August 2012

Anmelder: Nabtesco Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012101947
Aktenzeichen: EP11857401
Anmeldetag: 27. Dezember 2011
Veröffentlichung: 2. August 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677B25J9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nabtesco Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nabtesco

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, tätig in Präzisionsgetrieben, Antriebstechnik für Robotik und Industrieanlagen sowie Steuerungssystemen für Flugzeuge und Schienenfahrzeuge.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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