Scanning Electron Microscope

WO2012102301 Art A1 2. August 2012

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012102301
Aktenzeichen
EP12739314
Anmeldetag
25. Januar 2012
Veröffentlichung
2. August 2012
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/20H01J37/147H01J37/22H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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