Scanning Electron Microscope
WO2012102301
Art A1
2. August 2012
Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2012102301
- Aktenzeichen
- EP12739314
- Anmeldetag
- 25. Januar 2012
- Veröffentlichung
- 2. August 2012
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/20H01J37/147H01J37/22H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi High-Technologies Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi High-Tech Corporation
Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.
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