Rotating body of vacuum pump, fixed member placed to be opposed to same, and vacuum pump provided with them

WO2012105116 Art A1 9. August 2012

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012105116
Aktenzeichen: EP11857709
Anmeldetag: 28. November 2011
Veröffentlichung: 9. August 2012
Rechtsraum: WO
IPC: F04D19/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Edwards Japan Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

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