Al-based alloy sputtering target and cu-based alloy sputtering target

WO2012105136 Art A1 9. August 2012

Anmelder: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho, Kobelco Research Institute, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012105136
Aktenzeichen: EP11857962
Anmeldetag: 20. Dezember 2011
Veröffentlichung: 9. August 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/34C22C9/00C22C21/00H01L21/28H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho
Kobelco Research Institute, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kobe Steel

Japanischer Mischkonzern mit Sitz in Kobe, gegründet 1905. Tätigkeitsfelder umfassen Stahl- und Aluminiumerzeugnisse, Maschinenbau sowie Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von