Al-based alloy sputtering target and cu-based alloy sputtering target

WO2012105136 Art A1 9. August 2012

Anmelder: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho, Kobelco Research Institute, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012105136
Aktenzeichen
EP11857962
Anmeldetag
20. Dezember 2011
Veröffentlichung
9. August 2012
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34C22C9/00C22C21/00H01L21/28H01L21/285
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho
Kobelco Research Institute, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Kobe Steel

Japanischer Stahl- und Maschinenbaukonzern mit Sitz in Kobe, tätig in den Bereichen Stahl, Aluminium, Maschinenbau und Schweißtechnik.

665 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

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