Polishing composition and polishing method using same
WO2012105651
Art A1
9. August 2012
Anmelder: Nitta Haas Incorporated, Sumco Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2012105651
- Aktenzeichen
- EP12741836
- Anmeldetag
- 2. Februar 2012
- Veröffentlichung
- 9. August 2012
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304C09K3/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Nitta Haas Incorporated
Sumco Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumco
Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
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