Polishing composition and polishing method using same

WO2012105651 Art A1 9. August 2012

Anmelder: Nitta Haas Incorporated, Sumco Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012105651
Aktenzeichen
EP12741836
Anmeldetag
2. Februar 2012
Veröffentlichung
9. August 2012
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304C09K3/14
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Nitta Haas Incorporated
Sumco Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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