Method of determining multilayer thin film deposition on a piezoelectric crystal

WO2012106609 Art A2 9. August 2012

Anmelder: Inficon, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012106609
Aktenzeichen: EP12741847
Anmeldetag: 3. Februar 2012
Veröffentlichung: 9. August 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G01B17/02H01L41/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Inficon, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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