WO2012107138

WO2012107138 Art A1 16. August 2012

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, Technische Universiteit Eindhoven 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012107138
Aktenzeichen: EP11805820
Anmeldetag: 15. Dezember 2011
Veröffentlichung: 16. August 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/40C23C16/455H01L21/314

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Technische Universiteit Eindhoven
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von