Single crystal production apparatus and single crystal production method

WO2012108116 Art A1 16. August 2012

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012108116
Aktenzeichen
EP12745383
Anmeldetag
5. Januar 2012
Veröffentlichung
16. August 2012
Rechtsraum
WO
IPC
C30B15/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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