Device for detecting foreign matter and method for detecting foreign matter
WO2012108306
Art A1
16. August 2012
Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2012108306
- Aktenzeichen
- EP12744768
- Anmeldetag
- 1. Februar 2012
- Veröffentlichung
- 16. August 2012
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/94G01B11/30G01N21/27G01N21/35H01M4/139
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi High-Technologies Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi High-Tech Corporation
Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.
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