Microstructure transfer device and microstructure transfer method

WO2012108409 Art A1 16. August 2012

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012108409
Aktenzeichen: EP12744546
Anmeldetag: 7. Februar 2012
Veröffentlichung: 16. August 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B29C33/40B29C59/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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