Method for conveying object to be processed, and device for processing object to be processed

WO2012111669 Art A1 23. August 2012

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012111669
Aktenzeichen: EP12747627
Anmeldetag: 14. Februar 2012
Veröffentlichung: 23. August 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677H01L21/205H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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