Global metal film thickness measuring device

WO2012113246 Art A1 30. August 2012

Anmelder: Tsinghua University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012113246
Aktenzeichen: EP11859500
Anmeldetag: 17. November 2011
Veröffentlichung: 30. August 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G01B7/02G01B7/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tsinghua University
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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