Laser apparatus, extreme ultraviolet light generation system including the laser apparatus, and method for controlling the laser apparatus

WO2012114172 Art A1 30. August 2012

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012114172
Aktenzeichen: EP12710783
Anmeldetag: 8. Februar 2012
Veröffentlichung: 30. August 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/23H01S3/10G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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