Substrate processing apparatus

WO2012115143 Art A1 30. August 2012

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012115143
Aktenzeichen: EP12749249
Anmeldetag: 22. Februar 2012
Veröffentlichung: 30. August 2012
Rechtsraum: WO
IPC: B65H23/032B05C1/08B05C9/14H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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