System for and method of fast pulse gas delivery

WO2012116281 Art A1 30. August 2012

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012116281
Aktenzeichen: EP12719816
Anmeldetag: 24. Februar 2012
Veröffentlichung: 30. August 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/52C23C16/455C23C16/448G05D7/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von