Vacuum processing device and vacuum processing method

WO2012118129 Art A1 7. September 2012

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012118129
Aktenzeichen: EP12752631
Anmeldetag: 29. Februar 2012
Veröffentlichung: 7. September 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/30C01B33/037C23C14/24G01N23/225

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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