Optimization of data processing parameters

WO2012118884 Art A1 7. September 2012

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012118884
Aktenzeichen: EP12708625
Anmeldetag: 29. Februar 2012
Veröffentlichung: 7. September 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G06N5/04G06F19/00G06F17/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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