Process for producing silicon wafer

WO2012120785 Art A1 13. September 2012

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012120785
Aktenzeichen
EP12754300
Anmeldetag
9. Februar 2012
Veröffentlichung
13. September 2012
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304B24B37/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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