Plasma source and film deposition apparatus provided with plasma source

WO2012120850 Art A1 13. September 2012

Anmelder: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012120850
Aktenzeichen: EP12755034
Anmeldetag: 2. März 2012
Veröffentlichung: 13. September 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/46C23C16/503H05H1/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kobe Steel

Japanischer Stahl- und Maschinenbaukonzern mit Sitz in Kobe, tätig in den Bereichen Stahl, Aluminium, Maschinenbau und Schweißtechnik.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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