Sputtering target, method for manufacturing same, and method for manufacturing thin film transistor

WO2012121028 Art A1 13. September 2012

Anmelder: Sharp Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012121028
Aktenzeichen
EP12755561
Anmeldetag
24. Februar 2012
Veröffentlichung
13. September 2012
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34H01L21/203H01L21/363
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Sharp Kabushiki Kaisha
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sharp

Japanischer Elektronikkonzern mit Sitz in Sakai bei Osaka, seit 2016 mehrheitlich zu Foxconn gehörend. Aktiv in Displaytechnik (LCD, OLED), Unterhaltungselektronik, Haushaltsgeräten sowie Halbleiter- und Solartechnologie.

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