Method for fabricating electrode structure having nanogap length, electrode structure having nanogap length obtained thereby, and nanodevice

WO2012121067 Art A1 13. September 2012

Anmelder: Japan Science and Technology Agency 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012121067
Aktenzeichen: EP12755284
Anmeldetag: 28. Februar 2012
Veröffentlichung: 13. September 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/288B82B1/00B82B3/00B82Y10/00B82Y30/00B82Y40/00H01L21/336H01L29/06H01L29/417H01L29/66H01L29/786

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Abstract

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Firma: Japan Science and Technology Agency
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

Japanische staatliche Förderorganisation für Wissenschaft und Technologie, die Forschungsprojekte finanziert und den Technologietransfer zwischen Universitäten und Industrie unterstützt. Die Behörde untersteht dem japanischen Bildungsministerium.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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