A method of forming a capacitor structure, and a silicon etching liquid used in this method

WO2012121263 Art A1 13. September 2012

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012121263
Aktenzeichen
EP12755558
Anmeldetag
28. Februar 2012
Veröffentlichung
13. September 2012
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/308H01L21/306H01L21/8242H01L27/108
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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