Production efficiency improving apparatus, production efficiency improving method, and computer program

WO2012121378 Art A1 13. September 2012

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Murata Machinery, Ltd., Ma Solutions Limited, Daifuku Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012121378
Aktenzeichen: EP12754657
Anmeldetag: 9. März 2012
Veröffentlichung: 13. September 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G05B19/418G05D1/02H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Murata Machinery, Ltd.
Ma Solutions Limited
Daifuku Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Murata Machinery

Japanischer Maschinenbauer (Marke Muratec) mit Schwerpunkt auf Textilmaschinen, Logistiksystemen und Werkzeugmaschinen, nicht zu verwechseln mit Murata Manufacturing.

1.247 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von