Self- aligned process and method for fabrication of high efficiency solar cells

WO2012121835 Art A1 13. September 2012

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012121835
Aktenzeichen: EP12709988
Anmeldetag: 13. Februar 2012
Veröffentlichung: 13. September 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/266H01L31/0224H01L31/18H01L31/068

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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