Charged particle beam lens and exposure apparatus using the same

WO2012124324 Art A1 20. September 2012

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012124324
Aktenzeichen: EP12712773
Anmeldetag: 14. März 2012
Veröffentlichung: 20. September 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/12H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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