Process for etching a recessed structure filled with tin or a tin alloy

WO2012126672 Art A1 27. September 2012

Anmelder: MKS IP Association 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012126672
Aktenzeichen: EP12704397
Anmeldetag: 9. Februar 2012
Veröffentlichung: 27. September 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C23F1/40H01L21/306H01L21/3213H05K3/00C23F1/44H01L21/67C23F1/02H01L21/00H05K3/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS IP Association
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 MKS IP Association

Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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