Method and apparatus for determining structure parameters of microstructures

WO2012126718 Art A1 27. September 2012

Anmelder: ASML Netherlands BV, Technische Universiteit Delft 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012126718
Aktenzeichen: EP12711805
Anmeldetag: 6. März 2012
Veröffentlichung: 27. September 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/24G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands BV
Technische Universiteit Delft
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 Technische Universiteit Delft

Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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