Method and apparatus for determining structure parameters of microstructures

WO2012126718 Art A1 27. September 2012

Anmelder: ASML Netherlands BV, Technische Universiteit Delft 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012126718
Aktenzeichen: EP12711805
Anmeldetag: 6. März 2012
Veröffentlichung: 27. September 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/24G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands BV
Technische Universiteit Delft
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML Netherlands

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

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🇳🇱 Technische Universiteit Delft

Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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