Observation device and observation method

WO2012127880 Art A1 27. September 2012

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012127880
Aktenzeichen: EP12760909
Anmeldetag: 23. März 2012
Veröffentlichung: 27. September 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/17G02B21/00G02B21/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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