Film forming apparatus, film forming method, method for manufacturing organic light emitting element, and organic light emitting element

WO2012127982 Art A1 27. September 2012

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012127982
Aktenzeichen: EP12761058
Anmeldetag: 24. Februar 2012
Veröffentlichung: 27. September 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/06C23C14/24H01L51/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von