Multiple-beam system for high-speed electron-beam inspection
WO2012128967
Art A2
27. September 2012
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2012128967
- Aktenzeichen
- EP12759919
- Anmeldetag
- 8. März 2012
- Veröffentlichung
- 27. September 2012
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/26H01J37/141H01J37/244
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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