Self cleaning solutions for carbon implantation

WO2012129459 Art A1 27. September 2012

Anmelder: Linde Aktiengesellschaft 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012129459
Aktenzeichen: EP12761405
Anmeldetag: 23. März 2012
Veröffentlichung: 27. September 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/265

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Linde Aktiengesellschaft
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Linde

Deutscher Industriegasekonzern mit Wurzeln in München, gegründet 1879. Entwickelt und liefert technische Gase sowie Anlagen zur Gasverarbeitung für Industrie, Medizin und Energiewirtschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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