Apparatus for cleaning exhaust passage for semiconductor crystal manufacturing device and method for cleaning same

WO2012131888 Art A1 4. Oktober 2012

Anmelder: Sumco Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012131888
Aktenzeichen: EP11862330
Anmeldetag: 29. März 2011
Veröffentlichung: 4. Oktober 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C30B15/00C30B29/06C30B29/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumco Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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