Heat treating apparatus

WO2012132538 Art A1 4. Oktober 2012

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Mitsui Engineering & Shipbuilding Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012132538
Aktenzeichen: EP12765647
Anmeldetag: 1. Februar 2012
Veröffentlichung: 4. Oktober 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/22C23C16/46H01L21/205H01L21/31H01L21/324

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Mitsui Engineering & Shipbuilding Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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🇯🇵 Mitsui Engineering & Shipbuilding

Mitsui Engineering & Shipbuilding ist ein japanischer Schiffbau- und Maschinenbaukonzern, der heute Teil von Mitsui E&S ist. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fahrzeugtechnik für Schiffe, ergänzt durch Halbleiter-, Antriebs- und Fördertechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2018.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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