Information processing device, processing system, processing method, and program

WO2012132602 Art A1 4. Oktober 2012

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012132602
Aktenzeichen: EP12765693
Anmeldetag: 16. Februar 2012
Veröffentlichung: 4. Oktober 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G06F11/30G06F11/32G06F11/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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