Extreme ultra violet light source device

WO2012132803 Art A1 4. Oktober 2012

Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012132803
Aktenzeichen: EP12765321
Anmeldetag: 7. März 2012
Veröffentlichung: 4. Oktober 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ushio Denki Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ushio Inc.

Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.

559 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von

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