Device and method for measuring height of protrusions

WO2012132865 Art A1 4. Oktober 2012

Anmelder: Toray Engineering Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012132865
Aktenzeichen
EP12763531
Anmeldetag
13. März 2012
Veröffentlichung
4. Oktober 2012
Rechtsraum
WO
IPC
G01B11/02G01B11/24G01B11/245
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Toray Engineering Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toray Engineering

Toray Engineering ist eine japanische Tochtergesellschaft des Toray-Konzerns und stellt Fertigungsanlagen für Halbleiter- und Displayproduktion her. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Verfahrens- und Trenntechnik, ergänzt um Elektronik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2025.

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