Manufacturing method for nano-imprinting mold and substrate preparation method

WO2012133187 Art A1 4. Oktober 2012

Anmelder: Hoya Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012133187
Aktenzeichen: EP12762886
Anmeldetag: 23. März 2012
Veröffentlichung: 4. Oktober 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hoya Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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