Heating device

WO2012133494 Art A1 4. Oktober 2012

Anmelder: Komatsu Ltd., Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012133494
Aktenzeichen: EP12764191
Anmeldetag: 28. März 2012
Veröffentlichung: 4. Oktober 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027H01L21/683H05B3/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Komatsu Ltd.
Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Komatsu

Komatsu ist ein japanischer Hersteller von Baumaschinen, Bergbaugeräten und Industrieausrüstung mit Sitz in Tokio.

2.784 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von