Profile measuring apparatus, method for measuring profile, and method for manufacturing structure

WO2012133926 Art A2 4. Oktober 2012

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012133926
Aktenzeichen: EP12719808
Anmeldetag: 29. März 2012
Veröffentlichung: 4. Oktober 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/25

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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