Method and apparatus utilizing a single lift mechanism for processing and transfer of substrates

WO2012134663 Art A2 4. Oktober 2012

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012134663
Aktenzeichen: EP12764726
Anmeldetag: 21. Februar 2012
Veröffentlichung: 4. Oktober 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683H01L21/205C23C16/458

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von