Adaptive Recipe Selector

WO2012135396 Art A2 4. Oktober 2012

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Sundararajan, Radha, Funk, Merritt, Chen, Lee, Lane, Barton 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012135396
Aktenzeichen: EP12765788
Anmeldetag: 29. März 2012
Veröffentlichung: 4. Oktober 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Sundararajan, Radha
Funk, Merritt
Chen, Lee
Lane, Barton
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von