Apparatus and method for multiple slot ion implantation

WO2012138482 Art A1 11. Oktober 2012

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012138482
Aktenzeichen: EP12718455
Anmeldetag: 22. März 2012
Veröffentlichung: 11. Oktober 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/317H01J37/302H01J37/08H01J27/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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